Universitetet I Sørøst-norge
Instrument for AlN tunnfilmsdeposisjon
Institutt for mikrosystemet (IMS) skal anskaffe en AlN deposisjonsinstrument. Se konkurransegrunnlaget for mer informasjon. Total investeringsramme for anskaffelsen er NOK 7 200 000 eksklusive mva. Opsjoner kan komme i tillegg.