Laboratorie- og analyseutstyr
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. benötigt eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) zur Abscheidung von Dünnschichten auf Substraten von 5x5 mm² bis mindestens 150 mm Wafer, mit einem maximalen Gesamtwert von 461.344 EUR. Die Anlage soll reproduzierbare Abscheideprozesse für leitfähige, halbleitende und dielektrische Schichten ermöglichen, auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen), und wird in Jena geliefert. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern. Die Vergabe erfolgt auf Basis von technischen Spezifikationen (70%) und Preis (30%). Als Qualifikationsanforderung sind mindestens 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld, aus den letzten 3 Jahren einzureichen.
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- Kontakt telefon
- 03641206556
- Kontakt e-post
- saskia.bach@leibniz-ipht.de
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Kvalifikasjonskrav
Leverandøren må ha en gjennomsnittlig årlig omsetning.
Leverandøren må kunne vise til minst 2 referanser, fortrinnsvis fra forskningsmiljøet, fra de siste 3 årene.
Tildelingskriterier
Beskrivelse
technische Spezifikationen
Beskrivelse
Preis
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- Tittel
- ALD-Anlage
- Tilleggskoder
- Tilleggskoder lagt til av Cobrief
- Lokasjon
- Estimert verdi
- 461 344,00 €
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