Brief

Laboratorie-, optisk- og presisjonsutstyr

Die Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik, plant die Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems zur Metallabscheidung auf Substraten bis 200 mm Durchmesser, um die Prozessmöglichkeiten in der Halbleiter- und Photoniktechnologie zu erweitern. Es handelt sich um die Lieferung einer Anlage im Rahmen des Projekts APECS. Der geschätzte maximale Gesamtauftragswert beträgt 1.386.000 EUR.

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Om anbudet

    Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für die Halbleiterfertigung. Gegenstand ist die Lieferung einer Anlage zur Metallabscheidung auf Substraten bis 200 mm Durchmesser im Rahmen von mikro- und nanoelektronischen Prozessen. Die Beschaffung dient der Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im Bereich der Halbleiter- und Photoniktechnologie im Rahmen des Projekts APECS.

    Kontakt telefon
    493063928384
    Kontakt e-post
    vergabe@fbh-berlin.de
    Adresse
    Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

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Tittel
Vorinformation – Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für Halbleiterprozesse
Tilleggskoder

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Estimert verdi
1 386 000,00 €

Tidslinje

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